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山东巴威环境为半导体产业VOCs治理提供解决方案-温州日报瓯网 - ...

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高科技产业是现阶段国家工业发展的重心,再加上产业的群聚现象,对于环境造成相当大的区域负荷,有别于传统产业。高科技产业在制造过程中为确保质量,经常使用大量易挥发性的有机溶剂清洗,其衍生的挥发性有机物(VOCs),可能挥发进入大气环境中。

根据山东巴威环境收集的空气质量监测资料显示,VOCs及NOx等臭气前驱物质与光反应所产生的臭氧,有取代悬浮微粒,成为影响 PSI的主要成分的趋势。因此加强管理VOCs排放是改善空气质量的当务之急。因此相关部门在过去几年陆续研订各行业的排放标准来控制VOCs的排放,半导体制造业是其中的一。在新标准陆续公告实施后,大家所期望空气质量改善的目标正逐渐达成;而工厂对于低成本、高效率废气处理技术的需求则日益迫切。

山东巴威环境工程有限公司是专业从事VOCs废气的收集与处理的环保公司,公司与华南理工大学环境科学与工程学院开展技术合作的同时,吸收并借鉴国外技术,经过多年努力,成功开发出一系列VOCs治理工艺和设备,并不断将创新的技术整合于既有的成果中,不仅使得各处理系统的效率加速提升,同时能有效降低系统运作成本。山东巴威应用于高科技产业的挥发性有机废气可行控制技术有蓄热式焚烧、催化燃烧、活性碳吸附浓缩、沸石分子筛吸附浓缩、湿式洗涤、及生物滤床等。

巴威环境采样检测结果显示,高科技产业以集成电路行业的废气问题最为严重,其次为光电产业。半导体制造工序中以黄光工序、封装工序为主要的废气来源。其VOCs废气的来源除生产过程中使用的光阻剂、去光阻剂、显影剂外,主要为清洗过程使用的有机溶剂。而光电业的LED和LCD制造业与半导体制造业制造程序类似,制造工序中的有机废气主要产生源为显影工序使用的光阻剂、去光阻剂、显影剂,以及基板清洗过程使用的溶剂。

高科技产业所排放的废气具有低浓度、中高风量、且成分多样的特点。使用沸石转轮/活性炭床吸附浓缩+蓄热式焚烧炉系统可取得较好的处理效果,但高科技行业废气多含硅元素和高沸点VOCs,硅元素一定条件下容易生成粒状物堵塞蓄热体,高沸点VOCs则往往造成沸石转轮脱附不易,降低其浓缩效率。山东巴威通过多年经验积累,总结出一套适合高科技产业的废气浓缩焚烧系统设计及保养方案。有效解决蓄热体堵塞及沸石转轮处理效率下降等问题,同时大幅降低工厂废气处理设备的运营成本。